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面方位とは
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面方位とは
2024.05.08
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「シリコン単結晶ウェハ等の表面部に存在する結晶の配向性。MOSICの製造過程では、主に(100)面が採用されます。」
(100)面
,
MOSIC
,
シリコン単結晶ウェハ
,
結晶方位
,
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