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面方位とは

2024.05.08
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「シリコン単結晶ウェハ等の表面部に存在する結晶の配向性。MOSICの製造過程では、主に(100)面が採用されます。」

  • (100)面, MOSIC, シリコン単結晶ウェハ, 結晶方位, 表面部分
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