縦横の割合。半導体の配線パターンにおいては、配線厚さ(高さ)と配線幅との占める比を指す。一方、コンタクトホールでは、開口深さと開口直径の間の比率を言及している。’

縦横の割合。半導体の配線パターンにおいては、配線厚さ(高さ)と配線幅との占める比を指す。一方、コンタクトホールでは、開口深さと開口直径の間の比率を言及している。’
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