高精細化技術。細かなパターンを忠実に再現するフォトリソグラフィの工程では、位相シフトマスク(PSM)や光学近接効果補正(OPC)などの手法が活用されている。一般的に、これらの技術群はRETという頭文字を取って呼ばれることが多い。
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