紫外線露光とは

「UVリソグラフィは、別名をUV露光とも呼ばれています。これは、ICの露光工程で使用され、マスクパターンをウェハーに転写する工程です。なお、この方法では紫外線領域の波長の光源を用いて露光を行います。具体的な装置としては、波長365nmのi線を使ったステッパなどがあります。」

関連記事

  1. C2Cとは

  2. Checkinとは

  3. SmokeLoaderとは

  4. アプリケーションスイートとは

  5. データルームとは

  6. 法定実効税率とは

  7. Esfuryとは

  8. 内Rとは

  9. アカウント乗っ取りとは