イオンビームとは

真空環境下でスピードアップと集約を遂げた細いライン状のイオン粒子の流れを指す。主にイオンビームエッチングやイオンビームリソグラフィといった技術に応用されている。

関連記事

  1. 寄付金控除とは

  2. 間接材とは

  3. 協調検証とは

  4. シャドウコピーとは

  5. デポジションとは

  6. トタンとは

  7. アニールとは

  8. POODLE攻撃とは

  9. テーパーとは