リソグラフィとは、ウェハーに感光性樹脂であるレジストを塗布し、その上にマスクから描き出された回路図を焼き付けるという過程である。続いてこのパターンを現像し、光があてられた部分と非照射部に分けてレジストが残ることで、微細な凹凸パターンが形成される。この手法は石版印刷から名付けられたリソグラフィと呼ばれ、その後ウェハーに精密な加工を施すための基盤となる。
この凹凸パターンを活用して、エッチング（除去）、デポジション（積層）、ドーピング（不純物埋め込み）といった微細な加工を施す。露光方式には、紫外線によるフォトリソグラフィ、電子線露光、X線露光などがある。
