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微細な加工技術の一部として、写真の基本原理が利用される。写真製版作成のための古い技術が、ここでも活用されている。ICや精密部品の製造にとって欠かせない工程であり、その精度は極めて高くなければならない。具体的には、目的の基板にフォトレジスト（感光性樹脂）を塗り、マスクを使用して露光・現像を行ってフォトレジストパターンを形成する。そして、このパターンを基に基板をエッチング加工する。このマスクがエッチングマスクとなり、これ全体の流れをフォトエッチングと言う。