寄生パラメータ’とは、ゲート電極と基板の間、配線と基板の間、並びに配線同士の間に存在する容量Cや、配線自体や配線層と交差するスルーホールや拡散層との接続部（コンタクトホール）に見られる抵抗R、更にこれらから生じるインダクタンスLやトランジスタ成分等を含む全体の事を指しています。
寄生パラメータ’とは、ゲート電極と基板の間、配線と基板の間、並びに配線同士の間に存在する容量Cや、配線自体や配線層と交差するスルーホールや拡散層との接続部（コンタクトホール）に見られる抵抗R、更にこれらから生じるインダクタンスLやトランジスタ成分等を含む全体の事を指しています。
