スクラバとは

ICの生産ラインで、ウェハーを一定の動きで回転させつつ、適度な圧力を加えたブラシが接触。その際、ブラシは純水を供給しながら自身も回転し移動。これにより、ウェハー表面に付着した錆や堆積物を確実に除去する洗浄装置である。’

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