TFTとは

「薄膜トランジスタ」とは、ガラス等の絶縁基板の上に、化学的気相成長(CVD)やスパッタリングという技術を用いて成形されるトランジスタの一種です。その構造は一般的なMOSトランジスタと同じですが、こちらはシリコン単結晶ではなく、アモルファスシリコンや多結晶シリコンなどの薄膜材料を使用します。そのため、名称もその特性に因んで「薄膜トランジスタ」と呼ばれます。この薄膜トランジスタは、シリコン単結晶を用いた一般的なトランジスタやICと比較すると、電子の移動度は小さいです。しかし、これは大面積化が可能であり、その能力がLCDの画素スイッチ等の用途に活かされています。また最近では、有機材料であるペンタセンを使用した有機薄膜トランジスタの開発も進められています。

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