パーフルオロ化合物とは、フロンの代わりとなる化合物の一つであり、アメリカでは PerfluoroCarbon と呼ばれることが多いです。この名前は、炭化水素の全ての水素部分がフッ素に置換された化合物を示します。特に、半導体産業においては、PFCという名前でCF4、C2F6、C3F8、C4F8、CHF3、SF6、NF3といった種類を総称します。精密な加工が必要なエッチング作業やCVD装置のクリーニングにおいて、PFCは不可欠なガスとなっています。しかしながら、地球温暖化に与える影響が大きいという指摘があり、その排出量の削減が求められています。’
