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「反応性イオンエッチングとは、ドライエッチングの一種です。その特徴は、エッチングの過程で加速イオンの物理的な影響と、…
高精細化技術。細かなパターンを忠実に再現するフォトリソグラフィの工程では、位相シフトマスク（PSM）や光学近接効果補正（…
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