紫外線露光とは

「UVリソグラフィは、別名をUV露光とも呼ばれています。これは、ICの露光工程で使用され、マスクパターンをウェハーに転写する工程です。なお、この方法では紫外線領域の波長の光源を用いて露光を行います。具体的な装置としては、波長365nmのi線を使ったステッパなどがあります。」

関連記事

  1. EoPとは

  2. ハブアンドスポーク方式とは

  3. セッションハイジャックとは

  4. あおりを切るとは

  5. SLSAとは

  6. 諸謝金とは

  7. カミンスキー攻撃とは

  8. パイプとは

  9. D/Oとは