プロービングとは

ウェハ段階(チップがウェハから切り離される前)で、半導体デバイスの電子テストを実施する作業を指します。この名称は、チップのボンディングパッドと電気的に接続するために金属探針(プローブ)を用いることから来ています。ボンディングパッドに電気的な接点を確立し、欠陥チップにマークをつけて、それが後続の工程に進行しないように管理します。

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